1．技術(shù)特征

l 高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)

l 采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好

l 對(duì)準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位自動(dòng)切換

l 采用嵌入式計(jì)算機(jī)+觸摸屏操作，操作更方便，更時(shí)尚

l 上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)便。對(duì)高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜

2．技術(shù)參數(shù)

l 曝光面積：100mm×100mm（可升級(jí)為6英寸）

l 曝光波長(zhǎng)：365nm

l 分辨力：≤1mm（膠厚1.5 mm的正膠）

l 對(duì)準(zhǔn)精度：±0.6mm

l 顯微鏡掃描臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：10mm;Y:10mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規(guī)則片）                 

          厚度0.1mm--6mm

l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

l 照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）

l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍

目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍

l 調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

l 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和間隙

l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6?

l 最大焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）

l 光源平行性：3 ?

l 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面溫度<35 ?C

l 單層曝光一鍵完成

l 采用球氣浮+三爪找平

l 汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

3．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）?900mm(寬) ?1500mm（高）

4．配置

（1）曝光頭

l 冷光橢球鏡

l 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

l 冷卻風(fēng)扇

l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

l 光刻機(jī)底座

l 工位切換臺(tái)（氣缸）

l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成

l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)

l 基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

l 承片臺(tái)4個(gè)：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（可按用戶要求增減）

l 掩模夾4個(gè)：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）

l 樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

l 光源、 電源

l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

l CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，22寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

l 汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

l 單片機(jī)控制系統(tǒng)

l 控制面板

l 控制柜桌 

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

l 電磁閥驅(qū)動(dòng)

l 氣動(dòng)儀表 

（6）其他附件

l 真空泵一臺(tái)

l 空壓機(jī)一臺(tái)

l 配套接口管道

（7）技術(shù)資料

l 使用維修說(shuō)明書(shū)

l 產(chǎn)品檢驗(yàn)合格證