產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000B型光刻機

URE-2000B型紫外光刻機主要技術(shù)特點：　

　  該機采用i線紫外曝光光源，光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術(shù)，采用積木錯位繩眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設(shè)定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。 

技術(shù)參數(shù)：

1．技術(shù)參數(shù)

◆曝光面積：110mm×110mm

◆分辨力：0.8μm（膠厚2μm的正膠）

◆對準(zhǔn)精度：±1μm

◆最大焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）

◆曝光波長：365nm

◆光源平行度：2?

◆掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

◆樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)

               厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

◆照明均勻性：±3%（f100mm范圍）

◆掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

◆曝光能量密度：>18mW/cm

◆汞燈功率：1000W（直流）

◆曝光設(shè)定方式：定時（倒計時方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）

◆外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光頭

◆ 冷光橢球鏡

◆ 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

（2）對準(zhǔn)工件臺

◆掩模樣片整體運動臺

◆掩模樣片相對運動臺

◆轉(zhuǎn)動臺

◆樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

◆樣片自動調(diào)焦機構(gòu)

◆承片臺4個（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

  掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

◆掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡及CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源、電源

◆雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

◆CCD

◆21英寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

（5）氣動系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動

◆氣動儀表

（6）其他附件

◆真空泵一臺（無油泵）

◆空壓機一臺（靜音泵）

◆管道

（7）技術(shù)資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書