URE-2000/17型紫外深度光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)： 
        采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。 

1．技術(shù)參數(shù)

l 曝光面積：4英寸

l 曝光波長(zhǎng)：365nm

l 分辨力：1.5mm（膠厚2 mm的正膠）

l 對(duì)準(zhǔn)精度：±1mm

l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm 

               厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)

l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

l 照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）

l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍

目鏡三對(duì)：10倍、16倍、20倍

l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 汞燈功率：200W（直流）

l 曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長(zhǎng)）?600mm(寬) ?900mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

l 200W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

l 光學(xué)系統(tǒng)

l 冷卻風(fēng)扇

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動(dòng)

l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)

l 承片臺(tái)3個(gè)（f50mm 、?75mm 、 ?100mm  ）

l 掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l 掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

l 光源（配備品2只）、電源

l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

l CCD（臺(tái)灣）

l 21寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

l 汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)

l 單片機(jī)控制系統(tǒng)

l 控制機(jī)箱 

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

l 電磁閥驅(qū)動(dòng)

l 氣動(dòng)儀表 

（6）其他附件

l 真空泵一臺(tái)

l 管道

（7）技術(shù)資料

l 使用維修說(shuō)明書

l 顯微鏡使用說(shuō)明書