1.勻膠機產品簡介

WH-SC-01勻膠機適用于半導體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學之用。其總體設計由汶顥股份獨立開發完成，具有獨立知識產權。

勻膠機快速啟動和穩定的轉速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。

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2.勻膠機產品特點

（一）、采用全觸摸屏控制，三檔轉速。在啟動之后先在低轉速下進行勻膠，之后切換至高速下進行甩膠，轉速及相應的時間分別可調；實現啟停可控，轉速實時觀察等功能。

（二）、在結構方面，儀器本身采取了減震措施，在運轉時噪音很低。

3.勻膠機特征圖解

①防撞墊  ②勻膠托盤  ③觸摸屏  ④專用吸附盤  ⑤觀察窗  ⑥蓋板   ⑦抽氣孔  ⑧電源插口及開關

4.勻膠機性能參數

（1）電源輸入：AC220V±10V，50HZ；

（2）功率：60W；

（3）參數設定：觸摸屏設置參數，轉速穩定度±1％，膠的均勻性±3％；

（4）LED數字顯示，轉速范圍：300-10000rpm，時間范圍：5-9999s；

（5）適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；

（6）外形尺寸：300*280*220mm；

（7）整機重量：7kg。