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    WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機

    • 型號WH-XQY-01
    • 模式自動噴淋顯影清洗設備

    WH-XQY-01 臺式自動噴淋顯影設備可以對7英寸及以下基片進行程控式自動化顯影與清洗,最大轉(zhuǎn)速400RPM,最大液量500ml......

    1. 詳細信息

    1. 產(chǎn)品簡介

    顯影清洗一體機(WH-XQY-01)是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品,針對光刻工藝中的顯影與清洗過程而設計開發(fā)的,可以進行程控式自動化顯影與清洗。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影與清洗環(huán)節(jié),克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控等缺點,最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。

    2. 技術(shù)參數(shù)

    轉(zhuǎn)速:0~3000 rpm

    顯影液量控制:10~450 mL

    清洗時間控制:0~999 s

    適配硅片/芯片:≤7英寸

    顯影時間控制:1~900 s

    進液速度: 30~100%

    電源輸入:AC220V±10V/50HZ

    功率:250W

    重量:20 kg

    外形尺寸:510(W)* 450(D)* 350(H)mm

    工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,相對濕度<80 %


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    3. 特征圖解

     WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機外觀說明

    WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機外觀說明


    4.裝箱清單

    名稱

    單位

    數(shù)量

    顯影清洗一體機機體

    1

    液體瓶

    2

    廢液瓶

    1

    無油真空泵

    1

    吸附盤3寸(適用4、5、6寸硅片)

    1

    吸附盤1寸、2寸、6寸

    選配

    ?6氣管

    3

    電源線

    1

    使用手冊

    1

    質(zhì)檢報告

    1

    合格證

    1

    保修卡

    1

    4.噴淋顯影清洗一體機使用視頻教程

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