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WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機
- 型號WH-XQY-01
- 模式自動噴淋顯影清洗設備
WH-XQY-01 臺式自動噴淋顯影設備可以對7英寸及以下基片進行程控式自動化顯影與清洗,最大轉(zhuǎn)速400RPM,最大液量500ml......
1. 產(chǎn)品簡介
顯影清洗一體機(WH-XQY-01)是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品,針對光刻工藝中的顯影與清洗過程而設計開發(fā)的,可以進行程控式自動化顯影與清洗。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影與清洗環(huán)節(jié),克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控等缺點,最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。
2. 技術(shù)參數(shù)
轉(zhuǎn)速:0~3000 rpm
顯影液量控制:10~450 mL
清洗時間控制:0~999 s
適配硅片/芯片:≤7英寸
顯影時間控制:1~900 s
進液速度: 30~100%
電源輸入:AC220V±10V/50HZ
功率:250W
重量:20 kg
外形尺寸:510(W)* 450(D)* 350(H)mm
工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,相對濕度<80 %
3. 特征圖解
4.裝箱清單
名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
顯影清洗一體機機體 | 臺 | 1 |
液體瓶 | 件 | 2 |
廢液瓶 | 件 | 1 |
無油真空泵 | 臺 | 1 |
吸附盤3寸(適用4、5、6寸硅片) | 件 | 1 |
吸附盤1寸、2寸、6寸 | 件 | 選配 |
?6氣管 | 米 | 3 |
電源線 | 根 | 1 |
使用手冊 | 件 | 1 |
質(zhì)檢報告 | 件 | 1 |
合格證 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
4.噴淋顯影清洗一體機使用視頻教程
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