• 光刻機的曝光模式a.接觸式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當，設備簡單。接觸式，根據施加力量...2016-12-08 14:34:46
• 光刻機的“曝光模式”分類 ?????? a.接觸式曝光（Contact Printing）： ?????? 掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩...2015-02-13 15:49:15
• 中國科學院光電技術研究所研制出實用深紫外光刻機為基臺（已經銷售550臺，其中出口30多臺），配有高精度對準模塊、真空曝光模式、雙面曝光模式、納米壓印模式、接近式模式、數字設定曝光間隙等諸多功能供...2017-07-28 16:03:16