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汶顥微流控芯片加工工藝介紹

    汶顥芯片具備雄厚的微流控芯片加工能力,保持國內芯片加工的領先。配置了先進的軟刻蝕有機芯片加工系統、光刻-掩膜無機芯片加工系統、數控CNC微加工系統,可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC等所有材質微流控芯片

一、光刻工藝

能夠在硅片上進行光刻操作,光刻7英寸向下兼容,加工極限2μm,有三層以上光刻加工能力。

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二、注塑成型工藝

可利用硅片模具、玻璃模具、硅片模具或塑料模具進行PDMS芯片的注塑成型加工。

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三、數控CNC工藝(PMMA、PC、ABS等其他聚合物芯片)

利用數控CNC加工中心,可以加工線寬在100μm以上,深度在10μm以上的聚合物芯片,芯片整體尺寸在40*40cm以內。

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四、玻璃加工工藝

激光或CNC加工玻璃材質芯片,管道加工誤差可以在10μm以內,切割誤差可以控制在20μm以內。濕法刻蝕寬深比>2:1,通道內壁光滑。

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五、磁控濺射工藝

可以在硅片或者玻璃上濺射金屬,加工能力6英寸向下兼容,金屬厚度可控;可以進行多層的金屬濺射;可以對硅片或者玻璃上濺射金屬進行圖案化,極限線寬5μm。

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六、其它加工能力

金屬芯片—主要是鋁和鎳的芯片;相關進樣系統和墊圈的定制;硅刻蝕&深硅刻蝕—化學方法刻蝕和ICP刻蝕。

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標簽:   微流控芯片 加工工藝